海角吃瓜黑料

inficon 真空计的名称由来

真空腔体的真空压强检测使用真空计，一般配置是：前级泵组管道配置一只笔厂骋500；本底真空配置一只热电离规或者冷阴极规惭笔骋400或者叠笔骋400；工艺压强测量/监控配置一只颁顿骋025顿。

1. PSG系列: Pirani Standard Gauge

2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge

3. CDG系列：Capacity Diaphragm Gauge

4. BAG系列：Bayard Alpert Gauge

5. VGC系列：Vacuum Gauge Controller

6、BPG系列：Bayard-Alpert Pirani Gauge（B-A型皮拉尼）

7、MPG系列：Magnetron Pirani Gauge（磁控皮拉尼）

8、HPG系列：High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge

9、PGE系列：Pirani Gauge Enhanced

10、PEG系列：Penning Gauge（冷阴极潘宁规）