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贬罢颁真空阀
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中国台湾日扬础笔颁蝶阀的功能通常是阻绝或是调节流量, 其关闭的机构主要为一个圆型片, 操作的方式和真空球阀很类似, 可以快速的开启或关闭, 蝶阀受到欢迎的主要原因是重量比较轻, 就不需要太多的支撑。
真空传输阀是采用了直连驱动技术的真空阀,外形尺寸小,设计紧凑,所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝,可减少粉尘产生,并提升产物的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护,封板快速拆装设计易维修等优点。
真空矩形阀广泛应用于半导体、光电产业之镀膜设备,安装于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与制程腔室(process chamber)等需要真空与压力分隔的地方。
贬罢颁真空蝶阀的功能通常是阻绝或是调节流量, 其关闭的机构主要为一个圆型片, 操作的方式和真空球阀很类似, 可以快速的开启或关闭, 蝶阀受到欢迎的主要原因是重量比较轻, 就不需要太多的支撑。
础笔颁蝶阀主要应用: 真空压力控制和隔离阀门 应用产业 SEMI - 半导体 FPD - 光电面板 PVD - 物理气相沉积 Solar - 太阳能
真空钟摆阀动阀连接了传感器,让控制器可以让阀门打开,关闭或到第叁个位置,提供更好的设定点精确度和可重复性控制功能。
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