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SH-600 旋转式传感器头设计用于要求苛刻的工艺,采用非常厚的薄膜和几种不同的材料。RSH-600 将六颗晶体固定在热屏蔽、水冷却的壳体中,确保在温度高达 300°C 的应用环境下获得晶体性能。晶体固定在一个易于拆卸的 Teflon® 和不锈钢晶体支架中。
INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平(QCM)测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450ºC 的高温,设计在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极*接地以有效地消除与电干扰有关的任何潜在问题。
INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时,可自动更换其晶体,而无需中断过程。晶体不稳定或失效时,IC6 会立即向 Crystal 12 传感器旋转传送带发送信号,要求其立即将新晶体旋转到位,从而实现持续沉积速率监控。
INFICON UHV 可烘烤晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性,提供超越当前市场上的任何传感器头的热稳定性。可烘烤传感器由 304 号不锈钢、钼、铬镍铁合金、镍和氧化铝材料制成,设计为可承受连续烘烤温度高达 450° C(仅适用于烘烤,实际沉积监控需要水流)。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。
经济型双传感器为一个晶体可能不够的 QCM 应用提供简单并且廉价的解决方案。闸门将覆盖第二个晶体,直到需要该晶体完成过程。经济型双传感器使用两条真空电缆以便于在现场更换。 经济型双传感器的紧凑设计仅需要 32.5 毫米(1.3 英寸)的间隙,传感器和快门组件即可穿过标准 CF40 管嘴。