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安捷伦真空泵分子泵组
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TPS 移动型系统是一种位于小体积滚动推车上的可定制大抽速泵组。从 400 多种配置中进行选择,其中包括以 IDP 或 TriScroll 涡旋式干泵(抽速 3–30 m3/h),或 DS 旋片泵(抽速 6–30 m3/h)作为前级泵,泵速范围为 70–700 L/s 的小型和中型 TwisTorr 涡轮分子泵。TPS 移动型系统的多种选择包括的 TwisTorr 305 技术,提供高压缩比
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